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吴江市同里镇聚谦精密金属制品厂

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14.0使用尘埃粒子计数器检测空气洁净度等级

发布时间：2013-01-02 08:28:59        

14.0使用尘埃粒子计数器检测空气洁净度等级

尘埃粒子计数器洁净室内空气洁净度等级的检测

1  空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态(空态、静态、动态)下进行。

2  检测仪器的选用：应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器，【尘埃粒子计数器，激光尘埃粒子计数器，激光粒度仪，激光颗粒计数器】在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。

3  采样点的规定：

1  最低限度的采样点数NL，见表.3；

表3   最低限度的采样点数NL表

 

测点数NL

2

3

4

5

6

7

8

9

10

洁净区面

积A(m2)

2.1～

6.0

6.1～

12.0

12.1～

20.0

20.1～

30.0

30.1～

42.0

42.1～

56.0

56.1～

72.0

72.1～

90.0

90.1～

110.0

注：1  在水平单向流时，面积A为与气流方向呈现垂直的活动空气截面的面积。

2  最低限度的采样点数NL=A0.5计算(四舍五进取整数)。

2  采样点应均匀分布于整面积内，并位于工作区的高度(距地坪0.8m的水平面)，或设计单位、业主特指的位置。

B.4.4  采样量的确定：

1  每次采样的最少采样量见表4

表4   每次采样的最少采样量Vs(L)表

 

洁净度

等级

粒径(μm)

0.1

0.2

0.3

0.5

1.0

5.0

1

2000

8400

—

—

—

—

2

200

840

1960

5680

—

—

3

20

84

196

568

2400

—

4

2

8

20

57

240

—

5

2

2

2

6

24

680

6

2

2

2

2

2

68

7

—

—

—

2

2

7

8

—

—

—

2

2

2

9

—

—

—

2

2

2

2  每个采样点最少采样时间为1min，采样量至少为2L；

3  每个洁净室(区)最少采样次数为3次。当洁净区仅有个采样点时，则在该点至少采样3次；

4  对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境，采样量很大，可采用ISO14644—1附录F规定的顺序采样法。

5  检测采样的规定：

    1  采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内设计气流速度；

    2  对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁净室，采样管口宜向上；

    3  采样管必须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据答应长度确定，假如无规定时，不宜大于1.5m；

    4  室内的测定职员必须穿洁净工作服，且不宜超过3名，并应阔别或位于采样点的下风侧静止不动或微动。

6  记录数据评价。空气洁净度测试中，当全室(区)测点为2～9点时，必须计算每个采样点的均匀粒子浓度Ci值、全部采样点的均匀粒子深度N及其标准差，导出95%置信上限值；采样点超过9点时，可采用算术均匀值N作为置信上限值。

1 每个采样点的均匀粒子浓度Ci应小于或即是洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。

表6-1   洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

 

洁净度等级

大于或即是表中粒径D的最大浓度Cn(Pc/m3)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

1

10

2

 —

—

—

—

2

100

24

10

4

—

—

3

1000

237

102

35

8

—

4

10000

2370

1020

352

83

—

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

—

—

—

352000

83200

2930

8

—

—

—

3520000

832000

29300

9

—

—

—

35200000

8320000

293000

注：

1  本表仅表示了整数值的洁净度等级(N)悬浮粒子最大浓度的限值。

2  对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径D(μm)的最大浓度限值(Cn)，应按下列公式计算求取。

3  洁净度等级的粒径范围为0.5～5.0μm，用于定级的粒径数不应大于3个，且其粒径的顺序级差不应小于1.5倍。

2  全部采样点的均匀粒子浓度N的95%置信上限值，应小于或即是洁净度等级规定的限值。即：式中  N──室内各测点均匀含尘浓度，N=∑Ci／n；

n──测点数；

s──室内各测点均匀含尘浓度N的标准差：

t──置信度上限为95%时，单侧t分布的系数，见表B.4.6-2。

表6-2    t系数

 

点数

2

3

4

5

6

7～9

t

6.3

2.9

2.4

2.1

2.0

1.9

7  每次测试应做记录，并提交性能合格或分歧格的测试报告。测试报告应包括以下内容：

    1  测试机构的名称、地址；

    2  测试日期和测试者签名；

    3  执行标准编号及标准实施日期；

    4  被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图；

    5  被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径(或沉降菌、浮游菌)、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压型；

    6  丈量用的仪器的编号和标定证书；测试方式细则及测试中的特殊情况；

    7  测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度(或沉降菌、浮游菌的菌落数)；

    8  对异常测试值进行说明及数据处理。

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