13.0洁净室悬浮粒子的测试方法

发布时间：2013-01-02 08:27:54

面积㎡	洁净度级别
面积㎡	100	10,000	100,000
＜10	2～3	2	2
≥10～＜20	4	2	2
≥20～＜40	8	2	2
≥40～＜100	16	4	2
≥100～＜200	40	10	3
≥200～＜400	80	20	6
≥400～＜1000	160	40	13
≥1000～＜2000	400	100	32
2000	800	200	63
注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对于非单向流洁净室，指的是房间面积。

B、采样点的位置

采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置；采样点多于5点时，也可以在离地面0.8m～1.5m高度的区域内布置，但每层不少于5点。

C、采样点的限定

对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。

D、采样量

洁净度级别	采样量，L/次
洁净度级别	≥0.5um	≥5um
100	5.66	—
10,000	2.83	8.5
100,000	2.83	8.5

注意：确认洁净室(区)送风量和压差达到要求后，进行采样；对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜朝上；布置采样点时，应避开回风口；采样时，测试人员应在采样口的下风侧。

(4)结果计算

A、采样点的平均粒子浓度

A=	C1+C2+…+Cn
	N

式中：A ——某一采样点的平均粒子浓度，粒(个)/立方米；

Ci——某一采样点的粒子浓度(I=1,2,3,…,n)，粒(个)/立方米；

N ——某一采样点上的采样次数，次；

B、平均值的均值

M=	A1+A2+…+An
	L

式中：M ——平均值的均值，即洁净室(区)的平均粒子浓度，粒(个)/立方米；

Ai——某一采样点的平均粒子浓度(I=1,2,3,…,n)，粒(个)/立方米；

L ——某一洁净室(区)内的总采样点数，个；

C、标准误差

SE=	(A1-M)²+(A2-M)²+…(AL-M)²
	L(L-1)

式中：SE——平均值均值的标准误差，粒(个)/立方米；

D、置信上限

从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度(此处为95%)计算得到的估计上限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信上限。

UCL=M+t×SE

式中：UCL——平均值均值的95%置信上限，粒(个)/立方米；

t ——95%置信上限的t分布系数，见下表

采样点数L	2	3	4	5	6	7	8	9	＞9
t	6.31	2.92	2.35	2.13	2.02	1.94	1.90	1.86	—
注：当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。

(5)结果评定

判断悬浮粒子洁净度级别应依据以下两个条件：

A、每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限。

B、全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，

即UCL≤级别界限。

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